中科飞测获2022年度深圳市科学技术奖 技术发明奖一等奖

发布日期:2023-11-28 13:48

公司历时七年,突破激光暗场线扫描与线探测、明场微分干涉线扫描、激光暗场检测全系统物理仿真建模等多项关键技术,成功研制出集成电路前道无图形晶圆光学检测系列设备。已成功应用于国内40余家企业及芯片生产线,覆盖了国内主要集成电路芯片制造厂商。该项目技术复杂,研发难度大,创新性强,拥有多项核心发明专利,打破国外技术封锁与垄断,填补了国内空白,具有显著的经济与社会效益。

根据《深圳市科学技术奖励办法》,经市科技创新委等单位组织评审、市科学技术奖励委员会审核,深圳市政府于2023年6月10日(深府〔2023〕50号)批准授予“集成电路前道无图形晶圆光学检测设备的关键技术及应用”成果“技术发明奖”。

我们每一个飞测人对于这一次的重大成果取得都应该感到自豪,这是大家团结协作、共同奋斗的结果。未来飞测人将继续以创新为动力,为公司的科技研发工作献出更大的力量。我们的科技创新成果将成为中国集成电路产业发展中重要的一环。相信在全体员工的共同努力下,公司未来将继续走在科技创新的前沿,为国家科技进步和经济发展做出更大的贡献!

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