半导体缺陷自动

分类系统

EAGLE
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产品介绍

产品特点

1、可定制:针对Sinf图、2D/3D缺陷导出可以定制化输出格式

2、任务分发:自动推送机台扫描完成的wafer,无需手动查找

3、管理员机制:分级权限设定,不同质检员有不同的操作权限

4、统计分析:支持良率导出、过检漏检率分析、缺陷图像导出等

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